半導(dǎo)體氣敏傳感器按照半導(dǎo)體與氣體的相互作用在其表面還是在內(nèi)部，可分為表面控制型和體控制型兩類(lèi)；按照半導(dǎo)體變化的物理性質(zhì)，又可分為電阻型和非電阻型兩種。半導(dǎo)體氣敏元件的詳細(xì)分類(lèi)參見(jiàn)表4-5。電阻半導(dǎo)體氣敏元件是利用半導(dǎo)體接觸氣體時(shí)，按其阻值的改變程度來(lái)檢測(cè)氣體的成分或濃度；而非電阻型半導(dǎo)體氣敏元件根據(jù)其對(duì)氣體的吸附和反應(yīng)使某些有關(guān)特性變化，從而對(duì)氣體進(jìn)行直接或間接檢測(cè)。

  自從20世紀(jì)60年代研制成功SnO₂半導(dǎo)體氣敏元件后，SnO₂氣敏元件進(jìn)入了試用階段，敏感材料是目前應(yīng)用最多的一種器皿材料，它已經(jīng)廣泛應(yīng)用與工礦企業(yè)、民用住宅、賓館飯店等內(nèi)部對(duì)可燃和有害氣體的檢測(cè)。