濕度傳感器是基于其功能材料能發(fā)生與濕度有關(guān)的物理效應或化學反應的基礎(chǔ)上制造的。它有將濕度物理量轉(zhuǎn)換成電信號的功能，這些功能可以通過與濕度有關(guān)的電阻或電容的變化，長度或體積的脹縮以及結(jié)型器件或MOS器件的某些電參數(shù)的變化，例如PN結(jié)擊穿電壓、電流放大系數(shù)、反向漏電流、MOS器件的溝道電阻等的變化而得以實現(xiàn)。濕度傳感器的特性參數(shù)主要有:濕度量程、靈敏度、溫度系數(shù)、響應時間、濕滯回差`感濕特征量一一相對濕度特性曲線等。

濕度傳感器能較精確地測量環(huán)境相對濕度(或絕對濕度)的最大范圍，稱為濕度敏感器件的濕度量程。由于各種濕度敏感器件所使用的功能材料不同，以及器件工作所依據(jù)的物理效應或化學反應的不同，器件不一定能夠在整個相對濕度范圍內(nèi)(0~100%RH)都具有可供使用的濕度敏感特性。某些濕度傳感器只適用于某一段相對濕度范圍。例如，目前使用較普通的氧化鋰濕度敏感器件的每片使用范圍就只有大約20%RH左右，因此使用時就需要多片組合。此外，在生產(chǎn)實踐中，不同的生產(chǎn)或生活條件要求濕度敏感器件在不同的相對濕度范圍內(nèi)工作。例如，木材的干燥系統(tǒng)中，濕度敏感器件工作的濕度范圍主要在0~40%RH;而在室內(nèi)的空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)中，濕度敏感器件工作的濕度范圍則主要在40%RH一70%RH;用于氣象探測的濕度敏感器件則應能在0~100%RH的范圍內(nèi)工作。因此，濕度敏感器件的濕度量程是表示器件使用范圍的特性參數(shù)。顯然，器件的濕度量程以0~100%RH為最佳:濕度量程越大，器件的使用價值就越大。