隨著人們對各種設備小型化、集成化多功能化要求的不斷提高 ,微傳感器的開發(fā)和利用越來越受到人們的重視?，F(xiàn)在微傳感器已成為最基本的電子元器件,且被廣泛地應用在航空航天、生命科學.工業(yè)自動化環(huán)境保護家用電器,汽車行業(yè)農(nóng)業(yè)等各個領域,可毫不夸張地說 ,對微傳感器的使用已經(jīng)滲透到我們生活中的各個方面。

傳感器的日益小型化、集成化,很大程度上得益于微機械加工技術的進步。伴隨著微機械加工技術的出現(xiàn),微機械傳感器應運而生, 這種新型的傳感器與經(jīng)典的傳感器相比,具有體積小、易集成,成本低、功耗小、速度快、可靠性高以及精度高等特點。把這種傳感器與集用和才寺人作玫仙人全全的仙人而智能傳感器是本世紀傳感器技術發(fā)展的主要方向,因此,對微機械加工型智能傳感器的研究,已經(jīng)成為國內(nèi)外傳感器研究的熱點。

微機械加工型智能傳感器的發(fā)展, 首要的便是基于微機械加工的技術特點和工藝特點。這主要是順應未來傳感器的微型化和集成化、低功耗和低成本、高精度和長壽命、多功能和智能化的需求。而微機械與集成電路以及微機械與光路和集成電路的一體化集成,能充分滿足上述要求。因此微機械加工型智能傳感器的發(fā)展在某種程度上代表了未來傳感器的發(fā)展趨勢。