主要優(yōu)點(diǎn):

    1.測(cè)量結(jié)果與被測(cè)氣體種類或成分無關(guān)，還可測(cè)量蒸氣；

    2.金屬陶瓷質(zhì)規(guī)管可加熱烘烤除氣；

    3.可用于有腐蝕性氣體場(chǎng)合；

    4.在真空計(jì)量中可作為低真空副標(biāo)準(zhǔn)量具使用。

    主要缺點(diǎn)是易受溫度變化干擾。用于精密測(cè)量時(shí)，需采用恒溫補(bǔ)償措施。

    在真空保鮮技術(shù)和設(shè)備中常采用電容式薄膜真空計(jì)進(jìn)行真空度測(cè)量。