高真空設(shè)備工作時，都是從大氣狀態(tài)下開始抽氣的。為此，在設(shè)備達到預定的高真空之前，必須先測量低真空。由于測量低真空和高真空一般不能用同一種真空計來完成，因而需采用由低真空計和高真空計組的復合真空計。應用最多的是電離真空計與熱偶真空計組合而成的電離與熱偶式復合真空計，簡稱為復合真空計。其測量范圍可擴展至13~10ˉ?Pa，其中13~10ˉ1Pa由熱偶真空計測量；10ˉ1~10ˉ?Pa由電離真空計測量。這類復合真空計的結(jié)構(gòu)較簡單，且使用方便。

缺點是由于熱偶真空計和電離真空計的測量原理不同，出現(xiàn)了10ˉ1Pa處不能很好銜接的問題。