潔凈室除了過濾器及凈化空調(diào)系統(tǒng)，還需要各種局部?jī)艋O(shè)備及附屬設(shè)備。

局部?jī)艋O(shè)備是在特定的局部空問內(nèi)造成高潔凈度狀態(tài)的裝置。由于它控制區(qū)域小，所以蛟有效、節(jié)能。工藝許可的話，應(yīng)盡量采用它，但送出的潔凈氣流不斷被周圍空氣污染，潔凈區(qū)域越來越小。潔凈送風(fēng)氣流濃度場(chǎng)變化見圖44-15。

為了保護(hù)設(shè)備送出的潔凈氣流免受周圍空氣污染，可采用全壁方式(即把局部空AID月板壁全部圍檔)、部分壁方式(即部分圍檔)和空氣幕方式(用空氣幕作圍檔)。IN檔越長(zhǎng)，潔凈區(qū)作用域越遠(yuǎn)，但空間自由度越小，對(duì)工藝適應(yīng)能力越差。有時(shí)為廠適應(yīng)工藝需要不得不采用無壁方式。圖44-16示出無壁與部分壁的區(qū)別。