利用高效過(guò)濾器和風(fēng)機(jī)，可以組合成各種局部?jī)艋O(shè)備。

    (1)凈化工作臺(tái) 凈化工作臺(tái)是一種具有代表性的局部?jī)艋O(shè)備，它可在局部造成100級(jí)或更高級(jí)別的潔凈環(huán)境。從氣流型式上凈化工作臺(tái)，通常有垂直單向流型和水平單向流441;從氣流再循環(huán)角度上，可分為直流式工作臺(tái)和再循環(huán)式工作臺(tái);從工作臺(tái)面大小，可分為單席工作臺(tái)和雙席工作臺(tái)。各種不同型式的工作臺(tái)都必須配合不同用途選擇使用。

    凈化工作臺(tái)主要由預(yù)過(guò)濾器，高效過(guò)濾器、風(fēng)機(jī)機(jī)組、靜壓箱、外殼、臺(tái)面和配套的電器元器件組成。典型的結(jié)構(gòu)如圖44-17所示。

    凈化工作臺(tái)的性能見(jiàn)表44-16所示。為了檢驗(yàn)其實(shí)際性能，都必須遵循統(tǒng)一的性能測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)。

    (2)層流罩 是一種帶HEPA的送風(fēng)呈單向流的送風(fēng)機(jī)組。它也是一種常用的局部?jī)艋O(shè)備，可造成1SO5級(jí)或更高級(jí)別的局部潔凈環(huán)境，同時(shí)是組成潔凈隧道的基本單元設(shè)備。

層流罩主要由外殼、預(yù)過(guò)濾器、高效過(guò)濾器、風(fēng)機(jī)機(jī)組、靜壓箱和配套的電器元件組成。從結(jié)構(gòu)型式上，層流罩有前回風(fēng)型、后回風(fēng)型、有氣幕型和無(wú)氣幕型;從安裝方式上有吊裝式和支撐式。