真空泵的主要參數(shù)

（1）抽氣速率（抽速）抽氣速率是指真空泵進(jìn)口處，在任一給定壓力下，單位時(shí)間內(nèi)流入泵的氣體體積。

（4-8）

式中，△V為泵進(jìn)口處△t時(shí)間內(nèi)流入泵的氣體體積（m3）：p，為在測(cè)定該氣體體積時(shí)的進(jìn)口壓力（Pa）。

（2）極限壓力極限壓力是指當(dāng)被抽容器中漏氣和容器放氣可以忽略時(shí)，經(jīng)長(zhǎng)時(shí)間抽氣之后，泵所能達(dá)到的最低平衡壓力，即抽氣速率為零時(shí)的壓力。

（3）最大前級(jí)壓力最大前級(jí)壓力是指超過(guò)它能使泵損壞的前級(jí)壓力。

（4）啟動(dòng)壓力啟動(dòng)壓力是指泵無(wú)損壞啟動(dòng)并有抽氣作用時(shí)的壓力。

（5）最大工作壓力最大工作壓力是指對(duì)應(yīng)最大流量的入口壓力。在此壓力下，

泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。

（6）前級(jí)壓力前級(jí)壓力是指排氣壓力低于101325Pa的真空泵的出口壓力。

（7）壓縮比壓縮比是指真空泵對(duì)給定氣體的出口壓力與它的入口壓力之比值。