熱傳導(dǎo)真空計是利用低壓下氣體的熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)的原理而制成的測量真空壓力的儀器,是一種相對真空計。其方法是給真空中的一根金屬絲通電加熱,當加熱功率恒定時,熱絲的溫度也是恒定的。但若氣體壓力改變,氣體分子從熱絲導(dǎo)走的熱量也就改變,因而熱絲溫度就會發(fā)生變化。所以熱絲的溫度是氣體壓力
的函數(shù),即T=f(p)。只要事先找出這個函數(shù)關(guān)系,即可由某時刻熱絲的溫度求出對應(yīng)的真空壓力p值。測量熱絲溫度有如下兩種方法。
①利用熱絲電阻隨溫度變化的特性,測量熱絲的電阻變化,此種真空計稱為電阻真空計。
②利用熱電偶直接測量熱絲溫度的變化,此種真空計稱為熱偶真空計。