DL-8型電離真空規(guī)

DL-8型電離真空規(guī)采用的電極結(jié)構(gòu)如圖8-18所示，采用兩塊不銹鋼平行電極C作為離子收集極，其間距d，=5mm，在中心平面處登有四根相互間距為d2=1.32mm的絲狀電極，F(xiàn)為外涂氧化釔的銥陰極，A為陽極，兩側(cè)為輔助電極S,A和S極均為0.5mm鉬桿。利用電極C和S上的適當(dāng)負(fù)電位可改變電極F一A間的電位分布，實(shí)現(xiàn)對(duì)電子有聚焦作用和增大靠近陽極A附近區(qū)域的電場強(qiáng)度。前者迫使電子沿軸線作最短的直線運(yùn)動(dòng)，后者使電子只有在靠近陽極的極小區(qū)域由強(qiáng)電場迅速獲得較大的能量，從而控制了二次電子流，并在壓力較高、電子自由程短的情況下也能有足夠的電離幾率。

高壓力熱陰極電離真空計(jì)性能穩(wěn)定，其測量范圍一般為102一l0-4Pa，特別適合于中真空范圍的真空度測量。